电子行业废气治理方案

电子行业的废气治理一直一大难题，电子行业产生的废气种类多，治理难度大，排放的废气具有风量大(通常大于11000m3/h)、VOCs浓度低(通常小于25ppm v)的特点。排放VOCs废气中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。这些问题困扰着很多企业。奥维环保跟大家一起分析一下改行业的废气特点及治理措施。

电子行业中的VOCs种类常见的就达30多种，主要来自半导体器件、电子元器件、电子组件、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使用溶剂型涂料、清洗工艺(包括芯征清洗、玻璃基板清洗、电路板清洗、电子组件清洗等)使用有机脱脂剂、脱水剂，感光成像工艺中的光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液态阻焊膜剂、去膜剂等使用有机溶剂，去光刻胶类化合物如DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA则属于高沸点的硫类和胺类之有机溶剂。

电子行业废气危害性：

电子行业废气中含有大量的有害物质，如果不对这些废气处理的话，当含有害物质漂浮在空气，不但对周边的环境造成污染还会危及人类的身体健康，特别是在电子厂上班的员工，如果长期呼吸这类气体，会对员工肺部有很大影响，造成各种疾病。

电子行业废气治理方法：

针对电子行业VOCs排放特点采用相应的治理技术，主要方法还是吸附法、焚烧法。对于半导体、TFT—LCD和LED、PCB等企业，有机废气一般还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体，治理技术一般采用多级废气治理方式，一般采用“喷淋塔淋洗+沸石浓缩转轮+催化燃烧”治理方案，对电子终端产品企业一般采用“漆雾过滤柜+活性炭吸附”治理方案。

沸石浓缩转轮+催化燃烧是使废气经过预处理后,进入转轮进行吸附净化,达标排放。当沸石转轮满足脱附条件时,系统进行介质再生。与CTO相配合,完成脱附和燃烧氧化,彻底分解VOCs分子，成生二氧化碳和水。该方案废气净化率可达90%以上，且无二次污染。但是投资较高，有很多的企业无法接受动辄上百万的废气处理投资。

活性炭吸附装置通过利用高性能活性炭吸附剂固体本身的表面作用力,将有机废气分子之吸附质吸引附着再吸附剂表面,能对苯、醇、酮、酯、汽油类等有机溶剂的废气吸附, 经过活性碳吸附后，符合排放标准的净化气体经风机排放。适用于低浓度大风量或高浓度间歇排放废气的作业环境。广泛应用于电子元件行业生产领域的废气恶臭气体净化。